背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率
电力真空箱氦检漏设备公司
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏
为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。
1. 极限压力合格，升压率不合格
极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为：
①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。
②不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。
③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。
汽机真空系统检漏方法
超声波检漏：超声波检漏，简便方便。原理是，对于泄漏产生的超声波，进行波长的倍减，使得泄漏超声波的频率，经过几次倍减，达到人耳能听到的频率，以达到识别泄漏点的目的。缺点是，在倍减超声波的同时，也倍减了其他噪音的频率。解决不了噪音干扰的难题。由于周边的噪音，使得泄漏超声波被周边噪音淹没，很多漏点有误判。检漏不完整，遗漏和误判多。
弱信号智能检漏仪：属于新型技术。近几年引进国内，主要应用于发电系统。这个技术采用噪音波的特征识别等人工智能新型技术，对于泄漏噪音实行提取、分析、比对、。能够排除周边噪音，地发现漏点。可以远距离漏点。可以在停机下检漏，也可以在线运营时检漏。检漏周全。湿冷电厂，空冷电厂都可以适用。还可以用于其他仪器难以检测的阀门内漏故障。操作简便，携带方便。
除了空冷岛检漏以外，此检漏技术可以调节内部数据设计，涵盖电厂的更多检漏需要：氢冷机组的氢气泄漏；大型机泵和变速箱的内部故障；轴封泄漏；阀门内漏；法兰界面、盘根不严密性；抽气器、进气门、疏水门泄漏以及其他类泄漏，如中压疏水系统内漏、凝汽器汽侧人孔门及喉部焊缝泄漏、低压防爆门泄漏、汽侧的水位计接头泄漏、抽空气系统阀门泄漏等。停机检漏和运行在线检漏都可以使用。
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