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扫描电镜分析中心点击了解更多「在线咨询」

扫描电镜广泛应用于许多学科领域台式扫描电镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。  扫描电镜具有高分辨率,景深大,立体感强,放大倍
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扫描电镜广泛应用于许多学科领域

台式扫描电镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。

  扫描电镜具有高分辨率,景深大,立体感强,放大倍数可调等优点,因此广泛用于半导体,无机非金属材料和器件的检测。除了时间和费用外,它还对电子显微镜的操作者产生了束缚,是研究微观世界的重要工具之一。它为人们提供了研究纳米尺度物质结构的有力手段,已广泛应用于许多学科领域,例如材料科学和质量过程控制




扫描电子显微镜的显示优势

扫描式电镜的电子和聚光镜与透射式电镜的大致相同,但是为了使电子束更细,在聚光镜下又增加了物镜和消像散器;在物镜内部还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。

  由于扫描电子显微镜可用多种物理信号对样品进行综合分析,并具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点,当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时,扫描电子显微镜在其微观结构分析研究方面同样显示出极大的优势。主要表现为:

  ⑴力学加载下的微观动态(裂纹扩展)研究;

  ⑵加热条件下的晶体合成、气化、聚合反应等研究;

  ⑶晶体生长机理、生长台阶、缺陷与位错的研究;

  ⑷成分的非均匀性、壳芯结构、包裹结构的研究;




扫描电子显微镜的基本结构

扫描电子显微镜的基本结构:


  扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子,此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的接受物理信号转换成图像信息。


  扫描电子显微镜除了可以测试二次电子图像之外,还可以测试背散射电子、透射电子、特征x射线以及阴极发光等信号图像。它的成像原理和二次电子像一样。在进行扫描电子显微镜观察之前,要对样品作相应的处理。




扫描电子显微镜的结构:

扫描电子显微镜的结构:


  扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的:真空系统,电子束系统还有成像系统。


  1.真空系统,主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵则用来在真空柱内产生真空。


  2.电子束系统,电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子,主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。


  3.成像系统,电子通过一系列电磁透镜成束之后,打到样品上和样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。





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