光照法。在天气晴朗的日子，用工具将润滑油撩起，与水平面成45°角。对照阳光，观察油滴情况，在光照下，可清晰地看到真空泵油润滑油中无磨削为良好，可继续作用，若磨削过多，应更换润滑油。油滴痕迹法。取一张干净的白色虑试纸，滴油数滴在滤试纸上，待润滑油渗漏后，若表面有黑色粉末，用手触摸有阻塞感，则说明润滑油里面杂质已很多，好的润滑油无粉末，用手摸上去干而光滑，且呈黄色痕迹。
真空泵油的
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光照法。在天气晴朗的日子，用工具将润滑油撩起，与水平面成45°角。对照阳光，观察油滴情况，在光照下，可清晰地看到真空泵油润滑油中无磨削为良好，可继续作用，若磨削过多，应更换润滑油。油滴痕迹法。取一张干净的白色虑试纸，滴油数滴在滤试纸上，待润滑油渗漏后，若表面有黑色粉末，用手触摸有阻塞感，则说明润滑油里面杂质已很多，好的润滑油无粉末，用手摸上去干而光滑，且呈黄色痕迹。
真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶液造成污染，适合用干式真空泵；
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
极低的蒸气压
这是真空泵油的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
良好的抗腐蚀性和抗乳化性
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件;吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
较高的闪点
主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
在真空泵运行期间，可能会吸入腐蚀性气体或空气以及含有水蒸气的冷气。然后腐蚀性气体会腐蚀泵中的金属部件，然后与真空泵油发生化学变化，而空气和含有水蒸气的冷气也会导致真空泵油乳化。
真空泵被广泛使用。从真空泵油乳化的原因来看，在食品、陶瓷等行业使用真空泵的单调过程中，乳化现象会更短暂地发生。在真空脱水过程中，大量的水蒸气和冷凝气体会排放到泵油中，因此必然会出现油乳化现象。
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