背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率
真空箱氦检漏系统生产厂家
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏
氦质谱检漏仪的基本原理与组成
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的，现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。
在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下，离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算：
R=1.8（MU）^1/2/H
式中，R为偏转半径（cm）；H为磁场强度（A/m）；M为有效质量，即离子质量和电荷质量之比；U为加速电压（V）。
由上式可以看出，当H和U为定值时，对应于不同的M，有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2，到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流测量设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1、M3）则以不同的偏转半径而被分开
不同真空范围内的抽气时间计算
中真空领域的抽气时间计算
这里所指的中真空领域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之间，中真空领域导管内的气体分子，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面讲的高真空那样简单地计算。一般情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大的结果。
真空抽气要考虑的要素：
(1)到达真空度；
(2)抽气速度；
(3)导通率；
(4)实际抽气速度；
(5)气体放出率；
(6)漏率。
用真空泵对真空腔体抽气时，初腔体内的压强迅速降低，但是经过一段时间后压强下降变缓，并且趋于一个恒定值。导致这种现象的主要原因是材料的表面放气。如下图压强和抽气时间的关系。压强变化的不同领域，分别称之为空间抽气和表面抽气。为了进一步提高真空度，通常采用的对策如下：
（1）选择表面放出气体少的材料；
（2）通过电解抛光等手段，减小材料表面积，继而减少气体分子的吸附；
（3）对腔体进行烘烤，促进表面吸附气体的放出。
汽机真空系统检漏方法
打压法：充压法原理基本与法一样，往凝汽器系统注入大气正压，用涂抹肥皂水的办法，查遍所有的可以漏点。缺点是，费时费力。主观性强。检漏效果受气候温度适度影响。必须停机。
打压法，可以说也不适用于空冷岛的检漏。检漏时需要停机。采用肥皂气泡的涂抹，用刷子涂抹肥皂液体，仔细查看，如有泄漏点将会产生气泡。空冷岛检漏面积大、死角多。又遇有风大，夜间，寒冷天等环境下，这个办法劳动量太大，不可能普遍查到所有死角。需搭设架，耗费时间人力大，而且死角太多，延长停机时间。
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