流量控制器的工作原理
流量控制器（流量计）利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号放大去驱动控制调节阀门。通过实时的流量检测闭
AB-13MFC Mass Flow Controller
流量控制器的工作原理
流量控制器（流量计）利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号放大去驱动控制调节阀门。通过实时的流量检测闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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质量流量计概述
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主要特点
1. 适用多种介质
2. 测量准确度高
3. 无直管段要求
4. 可靠性好
5. 维修率低
6. 具有核心处理器
主要分类
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另质量流量计一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
气体质量流量控制器的原理
体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个检测温度，另一个作为加热器。这两个元件和流量计内的电路组成一个温控系统，该温控系统保持温度检测元件和加热器之间的温度值恒定。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系，来反映气体的流量。
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