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通常，高纯气体系指气体中含较少杂质气氛(纯度)，微量水份(干燥度)污染物粒子的娄量保持在低限度，其粒度也应是小的(洁净度)。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净是三项重要的标度。
特别是近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，其重要程度已不亚于对纯度和干燥度有严格要求的用气工艺，无一不对其中的粒子提出限制。
根据《压缩气体气瓶充装规定》（GBT 14194-2017），充装量不得超过标注体积的60%。因此，3.2L气瓶充装量不超过1.9Kg， 10L气瓶充装量不超过6Kg， 40L大气瓶充装量不超过24Kg。如果充装量过大，二氧化碳气化过程中可能夹带少量二氧化碳液滴进入限压阀内，可能导致注射过程中压力不稳，产生注射出血或鼓包等后果。
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