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什么是流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制
数字气体流量计排名
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视频作者:厚礼博精密仪器(北京)有限公司
什么是流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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流量控制器的控制响应速度
物理时间常数
物理时间常数用希腊字母Tau来表示,是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一,即:控制器到达设定值某个百分比所需要的时间,被定义为1-1/e, 其中e是作为自然对数底数的无理数,其值为2.72,所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准,可能说明不了什么问题,因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。从下面示波器截图中可以看到:ALICAT质量流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作,有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
任意设定值百分比变化区域
不少质量流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度,比如:从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化,由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。如下图所示,ALICAT质量流量控制器用了11.4毫秒到达设定值, 从示波器波形图中可以清晰地观察到:50%那段跨度,10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言,如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话,那么结论是6~7毫秒。惟插入式TMF的检测杆必须牢固地固定于管道,并避免装在有振动的场所。
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流量控制器
怎样选择流量显示仪?
我们的流量显示仪非常丰富,可供用户选择的余地很大。
我们有单通道(配接一台MFM/MFC)和多通道(配接多台MFM/MFC)产品;多通道产品中又有共用显示和分别显示之分(前者体积较小,价格稍便宜,但显示需切换;后者体积较大,但显示直观);有台式﹑仪表式﹑和上架机箱式;该残留物由于颗粒过重而干扰到气体作层流运动并影响测量精度的几率很小,但如果那样的话,须使用清洁设备。有输入输出只能是电压信号的,也有电压和电流信号都行的;多数产品使用交流220V电源,也有产品可使用交流110V电源;有MFC和MFM都能配的,也有单配MFM的。
还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。
将流量显示仪安装在机柜上的用户,请注意安装的开孔尺寸。
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刘彦燕(False) / |
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