EM 系列泵是结实的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwards
爱德华真空泵维修公司
EM 系列泵是结实的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵
半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。针对各种困难工艺，例如会生成颗粒、可凝结和腐蚀性副产品的PECVD等，IH系列提供极高的可靠性。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。6ft3min-160Hz90m3h-1/53ft3min-1级数2极限真空（总压力）不带气镇1。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 可靠性。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。所有这些可变因素意味着您需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并延长您制程的正常运行时间。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。
爱德华70#真空泵油应用：
真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用，亦可用于各种扩散真空泵等。推荐用于工艺品、陶瓷、化学等领域的真空泵使用。
供应英国爱德华19号真空泵油，规格4L /208L现货，爱德华真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型号选用油号对用，因为真空泵油粘度不一样。
使用真空泵机组时需要注意什么
1、在蒸馏系统和真空泵机组之间，必须装有吸收装置。
2、蒸馏前必须用水泵抽去系统中溶剂的蒸气。
3、如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。
4、真空泵机组腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
5、减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
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