真空辅助开关的结构，真空辅助开关的触头采用真空舌簧管，其两端与接线端焊接固定，再用环氧树脂密封于聚碳酸酯绝缘定盘中。触头的通断由装在方轴上嵌有永世磁钢的转轮控制。触头的通断靠磁场的近远，转轮不与触头机械接触，因此方轴转动笨重灵活。目前国内几家制造厂的真空辅助开关的整体结构布置都是仿照F6型(每节双触头)设计的。主要是思索F6型在国内应用比较普遍，使其安装尺寸、接线方式、转轴衔接等与F6型兼容可以互
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真空辅助开关的结构，真空辅助开关的触头采用真空舌簧管，其两端与接线端焊接固定，再用环氧树脂密封于聚碳酸酯绝缘定盘中。触头的通断由装在方轴上嵌有永世磁钢的转轮控制。触头的通断靠磁场的近远，转轮不与触头机械接触，因此方轴转动笨重灵活。目前国内几家制造厂的真空辅助开关的整体结构布置都是仿照F6型(每节双触头)设计的。主要是思索F6型在国内应用比较普遍，使其安装尺寸、接线方式、转轴衔接等与F6型兼容可以互换。当然，改动设计也可以与其它型号辅助开关兼容互换。
而真空中，由于压强较低，气体分子，在这样的环境中，即使电极间隙中存在着电子，它们从一个电极飞向另一个电极时，也很少有机会与气体分子碰撞。因而不可能有电子和气体分子碰撞造成雪崩式的穿。正是因为气体分子十分稀少，真空间隙穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。从理论上推测，电场强度需达到108V/cm以上时才会造成穿，实际上真空间隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极表面粗糙度、洁净度等的影响，将理论计算值几个数量级。
电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。当泵出现故障时，泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通和断开及马达超负荷的保护。操作流程有显示器，有按钮控制，可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主按钮操作。
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