德国Edwards分子泵性能分子泵说明书 潽拓光电

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德国Edwards分子泵性能


广州潽拓——{精}，分子泵

EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修




爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。








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广州潽拓—Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至低。Edwards爱德华nEXT200200D分子泵维修，Edwards nEXT200200D英国爱德华涡轮分子泵进气法兰口LF100/IOS100，出气法兰口KF25，抽速200 L/S，对应的控制器为Edwards EXDC160/Edwards EXDC80。










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广州潽拓光电科技有限公司维修爱德华全系列分子泵：

STP301、STP451、STP603、STP1003、STPiX457、STPiX3006



爱德华EdwardsSTP 磁悬浮涡轮分子泵,对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用，Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵是优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态，消除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏的风险，同时将噪声和振动降至Z低。

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