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流量器安装使用注意事项

厚礼博生产、销售热式质量流量器，我们为您分析该产品的以下信息。

安装姿势（方向）

1）热分布式 大部分热分布式TMF的流量传感器可任何姿势（水平、 垂直或倾斜）安装，有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如LDG-□DB系列为减少环境气氛对流传热影响，只能水平安装，水平度允差±20。想了解更多关于热式质量流量控制器的相关资讯，请持续关注本公司。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装，因为这样便于做到调零的零偏置。

2）浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得准确测量，必须遵循制造厂依据仪表设计结构而定的安装建议。

流量控制器的工作压差范围是个什么概念

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。若作测脉动流测量，应了解TMF的响应性，以保证能跟随的上脉动的速度变化。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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流量控制器

怎样选择流量显示单位？

我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式，即是将 MFM / MFC 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示，例如，规格为50SCCM的MFM/MFC，当显示值为80%时，实际的流量为40SCCM。对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。对任何一种规格的MFM/MFC，满量程值都显示为。这种方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直观，有的用户不习惯。

按 SCCM或 SLM显示，出厂时对流量显示的范围与相应的MFM/MFC的量程进行匹配，使用时显示值即是流量值，很直观，符合习惯，为多数用户所采用。 匹配好后，原则上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是显示值需要修正。