选择真空泵注意事项:
1、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760
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选择真空泵注意事项:
1、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵,才能让真空泵既能够满足工艺要求,同时又能够长期稳定的运行,延长真空泵维修维保时间,节约运行成本,保证生产设备的生产效率,保证设备产能。
在CVD、PECVD、ALD等工艺中,真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺,这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶,如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外,就容易在真空泵内沉积,堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞,需要及时下机保养和维护,否则的话就会造成真空泵的更大的损坏,但是干式泵的维护成本又比较昂贵,选择一台耐粉尘,维保周期长的真空泵是非常重要的。
真空泵分类
滑阀泵: 由于滑阀泵比较、可靠,国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,滑阀泵工作原理但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进一步降低泵的振动噪声,喷油和漏油,提高滑阀泵长期运行的可靠性。三木森真空泵价格
直联旋片泵
随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在建立厂。三木森真空泵价格
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