质量流量计简介
质量流量：
以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如：毫升/分钟即 mL/min （SCCM行业标准）, 升/分钟即 L/min （SLM行业标准）. 标准状态为：气体温度—— 273.15K (0℃)； 气压——101325Pa(1atm)
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AB-12MFC Mass Flow Controller
质量流量计简介
质量流量：
以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如：毫升/分钟即 mL/min （SCCM行业标准）, 升/分钟即 L/min （SLM行业标准）. 标准状态为：气体温度—— 273.15K (0℃)； 气压——101325Pa(1atm)
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流量控制器的工作原理
流量控制器（流量计）利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号放大去驱动控制调节阀门。通过实时的流量检测闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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质量流量控制器的常见问题
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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。
假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。
因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。
气体质量流量控制器的显示方式
触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式，适合多气路以及产品的集成，一键启动，人机界面，具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固、节省空间等优点,是目前比较便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。
该产品呈现出多元化的趋势，针对不同的用户、不同的使用环境而出现了分体式、组合式、台式、便携式等多种类型。体积小巧、功能强大、功耗低，可内置锂电池或外置锂电池，保证长时间的运行。
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