氦质谱检漏仪的结构
收集极
收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器一极输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），一级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。
真空系统
仪器
氦质谱检漏仪那种好
氦质谱检漏仪的结构
收集极
收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器一极输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），一级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。
真空系统
仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的检漏仪其真空系统有较大的差别。图5为常见的普通型氦质谱检漏仪真空系统。
氦气检漏系统本身检测产品的密封性能。与传统的防水检测方法和氦气检测方法相比，具有以下优点:
1.:由于水的粘度大于气体的粘度，与传统的泡水检测方法相比，气密性检测速度快，产品不需要干燥，所以。
2.安全无污染:泡水检测会污染产品，容易间接腐蚀产品。
3.操作简单:气密性检测仪与氦气检漏或泡水检测法相比，无需操作者过多的肢体动作或长期训练，即可掌握操作方法，操作起来像个傻子。
4.成本低:与氦检漏仪相比，只需要干净的压缩气体代替氦气；传统的泡水检测方法检测产品需要几分钟左右，而气密性检测仪检测产品只需要几秒到十秒，可以节省大量的人力成本、材料成本和时间成本。
5.可靠性高:检漏仪采用微电脑控制系统，由微电脑根据设定值自动判断检测结果，结果可靠。传统的泡水方法由于人眼的疲劳和操作者思维的开小差而不客观。
背压法氦质谱检漏的简单步骤
质谱检漏实际应用中有很多具体的方法，其中背压法也是其中一种，我们来了解下背压法氦质谱检漏的几个步骤。
背压法氦质谱检漏检漏过程主要包括三个步骤：
首先是充压。将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放浸泡一定时间。如果被检件有漏孔，示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。随着浸泡时间的增加和充压压力的提高，这个被检件内部的示漏气体分压也会逐渐升高。
然后是净化。用干燥氮气或干燥空气在充压容器外部或在其内部吹被检件，在不具备气源时可以静置被检件，这样做的目的是去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。这个过程中，会有部分示漏气体从被检件内经漏孔流失，导致被检件内部示漏气体分压力下降。因此净化阶段时间越长，示漏气体的分压将越大。
第三个步骤就是检漏。经过净化的被检件被放入真空室，真空室与检漏仪相连，进行检漏。抽真空后，由于压差作用，示漏气体通过漏孔从被检件内部流出，而后经过真空室进入检漏仪，根据检漏仪的输出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。
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