真空镀膜机蒸发系统介绍
真空镀膜机蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。
电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用多,广泛的蒸发方式,也是应用时间长的蒸发方式。它的工作方式是,将钨片做成船状,然后安
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真空镀膜机蒸发系统介绍
真空镀膜机蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。
电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用多,广泛的蒸发方式,也是应用时间长的蒸发方式。它的工作方式是,将钨片做成船状,然后安装在两个电极中间,在钨舟加上药材,再缓缓给电极通电,电流通过钨舟,钨舟通电发热,这些低电压,大电流使高熔点的钨舟产生热量,再热传导给镀膜材料,当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了,此方法由于操作方便,结构简单,成本低廉,故被很多设备应用,但是其蒸发出来的薄膜由于致密性不佳,加上很多材料无法采用这种方式蒸镀,所以其有一定局限性。钨舟蒸发镀膜材料的时候,材料的熔点必须小于钨舟的熔点,否则就没有办法进行。
真空镀膜机真空的清洗方法,你知道吗
真空镀膜机真空清洗一般定义为在真空工艺进行前,先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程。真空零部件的表面清洗处理是很必要的,因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不能获得所要求的真空度。此外,由于污染物的存在,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
一.真空加热清洗
将工件放置于常压或真空中加热.促使其表面上的挥发杂质蒸发来达到清洗的目的,这种方法的清洗效果与工件的环境压力、在真空中保留时间的长短、加热温度、污染物的类型及工件材料有关。其原理是加热工件.促使其表面吸附的水分子和各种碳氢化合物分子的解吸作用增强。解吸增强的程度与温度有关。在超高真空下,为了得到原子级清洁表面,加热温度必高于450度才行.加热清洗方法特别有效。但有时,这种处理方法也会产生副作用。由于加热的结果,可能发生某些碳氢化合物聚合成较大的团粒,并同时分解成碳渣
二.紫外线辐照清洗
利用紫外辐照来分解表面上的碳氢化合物。例如,在空气中照射15h就可产生清洁的玻璃表面。如果把适当预清洗的表面放在一个产生臭氧的紫外线源中.要不了几分钟就可以形成清洁表面(工艺清洁)。这表明臭氧的存在增加了清洁速率。其清洗机理是:在紫外线照射下,污物分子受激并离解,而臭氧的生成和存在产生高活性的原子态氧。受激的污物分子和由污物离解产生的自由基与原子态氧作用.形成较简单易挥发分子.如H203、CO2和N2.其反应速率随温度的增加而增加.
引起镀膜玻璃膜层不均匀原因多方面
二次污染造成的洗净的玻璃在镀膜前需经过加热,抽真空和溅射等过程,而使玻璃再次污染,从而使玻璃镀膜后产生。玻璃加热过程中再污染是加热室或溅射室不干净,而对玻璃再污染,这些污染源主要来源于扩散泵返油、加热室或溅射室内脏、靶玻璃材溅射产生靶灰,残余气体压强高等诸多方面。因为一般的固体物质,每单位表面积上的分子数大约为10个左右,在常Pa的压强下,每秒钟撞表面的分子数大体上相当于覆盖物质积的分子数。在残余气体压强为10的情况下,假如以每秒一层原子左右的形成速度进行镀膜时,则蒸发的原子和残余气体的分子几乎是以相同的几率碰撞基片。在溅射过程中在充入气时压强为10~10时所形成膜的速度和蒸发条件下基本相同。
冲压件真空镀膜设备
工具经冲压件真空镀膜设备硬质涂层处理后,其性能更稳定,可出稳定、高质量的工件,可防止功能性表面、刀刃和拉伸半径受到磨损,显著延长工具的使用寿命;使用寿命的延长和行程率的提高在提高生产率的同时降低了单位成本;底层坚硬而顶层摩擦低的涂层系统,降低了粘附磨损,从而可能减少对环境产生不良影响的润滑剂的用量,甚至完全不使用润滑剂;因为涂层减少了工具负荷并因而降低了破损风险,生产可靠性得以提高,对于金属薄板成型工具,涂层可用作磨损指示器,磨损和冷焊的减少改进了工件的表面质量,也使工件能够满足对其外观的更高要求,光洁度也与随后的电镀工艺更加相匹配。
真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只园形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,保证足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动,提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。
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