光刻胶国际化发展
人士认为,按照现在“单打独斗”的研发路径,肯定不行。虽然使用更薄的胶层厚度可以改善负性胶的分辨率,但是薄负性胶会影响孔。相关部门要加大产业政策的配套支持力度,应从加快完善整个产业链出发,定向梳理国内缺失的、产业依赖度高的关键核心电子化学品,要针对电子化学品开发难度高,检测设备要求高的特点,组织汇聚一些优势企业和,形成一个产业联盟,建立一个生产应
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光刻胶国际化发展
人士认为,按照现在“单打独斗”的研发路径,肯定不行。虽然使用更薄的胶层厚度可以改善负性胶的分辨率,但是薄负性胶会影响孔。相关部门要加大产业政策的配套支持力度,应从加快完善整个产业链出发,定向梳理国内缺失的、产业依赖度高的关键核心电子化学品,要针对电子化学品开发难度高,检测设备要求高的特点,组织汇聚一些优势企业和,形成一个产业联盟,建立一个生产应用平台,集中力量突破一些关键技术。
江苏博砚电子科技有限公司董事长宗健表示,光刻胶要真正实现国产化,难度很大。光刻工艺约占整个芯片制造成本的35%,耗时占整个芯片工艺的40%~60%,是半导体制造中核心的工艺。问题是国内缺乏生产光刻胶所需的原材料,致使现开发的产品碳分散工艺不成熟、碳浆材料不配套。而作为生产光刻胶重要的色浆,至今依赖日本。前道工艺出了问题,保证不了科研与生产,光刻胶国产化就无期。因此,必须通过科研单位、生产企业的协同,尽快取得突破。
有提出,尽管国产光刻胶在面板一时用不起来,但还是要从政策上鼓励国内普通面板的生产企业尽快用起来。正性光刻胶比负性的精度要高,负胶显影后图形有涨缩,负性胶限制在2~3μm。只有在应用过程中才能发现问题,解决问题,不断提升技术、工艺与产品水平,实现我国关键电子化学品材料的国产化,完善我国集成电路的产业链,满足和重点产业的需求。
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5,显影液
在已经曝光的硅衬底胶面喷淋显影液,或将其浸泡在显影液中,正胶是曝光区、而负胶是非曝光区的胶膜溶入显影液,胶膜中的潜影显现出来,形成三维图像。
显影完成后通常进行工艺线的显影检验,通常是在显微镜下观察显影效果,显影是否、光刻胶图形是否完好。
影响显影的效果主要因素:
1,曝光时间,2前烘温度和时间,3