氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。
（1）质谱室
不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中
1）离子源
离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝（阴极）、离化室及离子加速极组成。
灯丝
氦质谱检漏仪设备
氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。
（1）质谱室
不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中
1）离子源
离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝（阴极）、离化室及离子加速极组成。
灯丝在真空中通电加热后发射电子，在离化室与灯丝之间的电场的作用下，电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室，在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量，打到分子电离形成正离子，正离子在离化室与加速极之间的电原U（即离子加速电压）作用下，相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝，由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能，便形成具有一定能量的离子束。由于离子是由中性气体分子失去Z个带负电荷e的电子而形成的，所以离子电荷为正的Ze。由于各种气体的离子均受同一电场的加速，当它们的电荷量相等时，它们的能量相等，但由于质荷比不同，故运动速度也就不同。
氦质谱检漏仪自身保养小知识
从事氦质谱检漏仪器，自动化氦质谱检漏系统研发、生产和销售
关注他
(1)前级真空泵的定期换油及深度保养；
(2)电磁阀组的超声清洗；
(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。
检漏仪主要配置：
1. 检漏仪德国普发分子泵
2.优成机械泵
3.渗氦型校准漏孔
4.美国AD放大器
5.质谱模块
6.液晶触摸彩屏
7.宽电压主控板
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣、模具等，这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延具寿命并且满足一些特殊的应用，刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。
镀膜机检漏原因：镀膜机需要在高真空环境下工作，真空度的好坏直接影响镀膜的。有时候镀膜机的真空度抽不下来或者真空度不好，可能是接头松动或者有焊缝出现虚焊。传统的检漏方法需要镀膜机停机，充氮气，再在怀疑有漏的地方涂上肥皂泡，整个过程耗时费力容易误判，对于细微的泄漏无法检测。
镀膜机检漏方法：采用真空法检漏，镀膜机不需要停机，直接在真空泵的旁路利用波纹管接入检漏仪，在怀疑有漏的地方喷氦气，即可完成检漏。
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