氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上
真空箱检漏系统
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同。
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氦质谱检漏仪的应用拓展三
（1）电子行业
微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。
（2）真空行业，仪器、仪表行业
管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加1速器、加1速器、辐照加1速器、镀膜机、薄膜真空计。
（3）核工业
铀分离装置、存储装置、核发电装置。
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氦质谱检漏常见问题
氦质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器，那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢？今天科仪的小编就和大家来一起总结一下！
一、为什么用氦气作为示踪气体？其他气体可以吗？（1）在空气中含量低(只有5 ppm)，环境本底低
（2）惰性气体不易1燃，不易1爆对环境没有污染，不与其他物质反应，可以混合到任意浓度
（3）无毒，可以用在食品工业
（4）在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
（5）比空气轻，运动速度快
（6）气体分子很小，可以穿过微小的泄漏孔
（7）其它气体也可以
二、喷氦检漏的注意事项。
（1）被测系统应尽量清洁，干燥，无油
（2）如果测量条件发生变化（温度），需要重新对检漏仪做内部较准
（3）氦气比空气轻，喷氦法检漏应注意方向
（4）尽量不要使用密封脂（油脂会大量吸附氦气）
（5）不要向环境释放大量氦气
（6）真实的漏率信号应当是上升的信号，相对缓慢下降的信号
三、漏率（leak rate）
在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注：采用国际单位制时，漏率单位为：Pam3/s。
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