扫描电镜的主要特点放大倍率扫描电镜的主要特点放大倍率高从几十放大到几十万倍，连续可调。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择。如果放大倍率为M，人眼分辨率为0.2mm，仪器分辨率为5nm，则有效放大率M＝0.2′106nm5nm=40000（倍）。如果选择高于40000倍的放大倍率，不会增加图像细节，只是虚放，一般无实际意义。放大倍率是由分辨率制
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扫描电镜的主要特点放大倍率
扫描电镜的主要特点
放大倍率高
从几十放大到几十万倍，连续可调。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择。如果放大倍率为M，人眼分辨率为0.2mm，仪器分辨率为5nm，则有效放大率M＝0.2′106nm5nm=40000（倍）。如果选择高于40000倍的放大倍率，不会增加图像细节，只是虚放，一般无实际意义。放大倍率是由分辨率制约，不能盲目看仪器放大倍率指标。
分辨率高
分辨率指能分辨的两点之间的距离。分辨率d可以用贝克公式表示：d=0.61l/nsina ，a为透镜孔径半角，l为照明样品的光波长，n为透镜与样品间介质折射率。对光学显微镜 a＝70°－75°，n=1.4。因为 nsina<1.4，而可见光波长范围为： l＝400nm-700nm ，所以光学显微镜分辨率 d@0.5l ，显然 d >200nm。要提高分辨率可以通过减小照明波长来实现。SEM是用电子束照射样品，电子束是一种De Broglie波，具有波粒二相性，l＝12.26/V0.5(伏) ，如果V＝20kV时，则l＝0.0085nm。目前用W灯丝的SEM，分辨率已达到3nm-6nm, 场发射源SEM分辨率可达到1nm 。高分辨率的电子束直径要小，分辨率与子束直径近似相等。
扫描电子显微镜的结构组成
1、真空系统
成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。
之所以采用真空，主要基于以下两个原因：
电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。
2. 电子束系统
电子束系统由电子和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束，用于扫描成像。
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射，而其余电子则穿透样品，逐渐失去动能，zui后停止运动而被样品吸收。在这个过程中，百分之99以上的入射电子能量转化为样品热能，剩余约百分之1的入射电子能量激发样品的各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴ji发光、X射线等。扫描电镜设备利用这些信号获取信息来分析样品。
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