氦质谱检漏方法分析
氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；
目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5.0×10-12 Pa·m3
真空箱氦检漏系统维修
氦质谱检漏方法分析
氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；
目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5.0×10-12 Pa·m3/s，如北京中科科仪生产的542检漏仪。国外检漏仪小可检漏率高可达到5.0×10-13Pa·m3/s，如德国Inficon，法国阿尔卡特等。
目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。后续将着重介绍真空箱法检漏在空调两器检测方面的应用。
确定系统的报警点
根据本节2）所得等效氦气漏率和3)所得系统分流因子，即可确定工件的报警点：
Q= QHe/Q3。
氦检漏系统校准
氦检漏系统在使用一段时间后，检漏仪可能由于环境等其他因素的影响，系统检测漏率会出现漂移。因此，需要定期对系统校准。系统校准分为内部校准和外部校准。
1）内部校准
内部校准即是对检漏仪自身的校准，执行内部校准需要准备一个漏率已知的标准漏孔对检漏仪进行校准。由于每款检漏仪校准方法各不相同，限于篇幅，本文不作详述。值得一提的是，一些检漏仪会内置标准漏孔。内置标准漏孔在使用一段时间后，漏率会衰减。因此需要找专门计量单位对内置漏孔进行校准，通常漏孔每年校准一次。
2）外部校准
外部校准即是对整个检漏系统校准，系统使用一段时间后，系统的分流因子可能会发生改变，因此需要定期使用标准漏孔来校准系统，以确定分流比是否已经改变。如果改变需要适当调整系统的报警点。
选择氦气作为示踪气体：用氦气作示踪气体的质谱检漏仪，是示踪气体检漏中灵敏度高，使用普遍的一种检漏仪器。
（1）He是一种标准元素，原子质量数为4，在质谱室内能与相邻物质很好的分离
（2）空气中He的本底浓度非常低-5ppm，使得本底噪声信号小.
（3）无毒,非可燃性气体。
（4）惰性气体，不易发生化学反应。
（5）氦气可以存储在各种尺寸的圆筒容器内，并且高纯度能够满足为苛刻的要求。
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