质量流量控制器概述
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热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气
AB-11MFC Mass Flow Controller
质量流量控制器概述
北京晓韬科技有限公司——85L-100L/min熔喷布口罩透气通过率GB32610/2626/19083气体质量控制器、流量计代理商,我们为您带来以下信息。
热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量, 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
质量流量控制器简介
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使用范围: 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。
特点:流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小。
质量流量计简介
质量流量:
以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如:毫升/分钟即 mL/min (SCCM行业标准), 升/分钟即 L/min (SLM行业标准). 标准状态为:气体温度—— 273.15K (0℃); 气压——101325Pa(1atm)
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