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通常，高纯气体系指气体中含较少杂质气氛(纯度)，微量水份(干燥度)污染物粒子的娄量保持在低限度，其粒度也应
高纯氧气厂
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高纯氧气厂相关介绍
钢瓶和瓶阀材料（如阀体、阀座和填料），应与所装气体化学相容。潜在不相容和其他化学相容性课题应考虑以下内容：卤素和卤素混合物与铝瓶不相容。高强度钢易变脆、强烈腐蚀和被特定气体腐蚀，如氨、一些卤素和卤素混合物。气体中杂质的可能影响。一些气体只有在干燥时相容。在这种情况下，气体和钢瓶均应无水。
通常用抽真空或吹扫来除去气体（某些情况下，在加热钢瓶时使用这种操作效果佳）。固体和液体物质（如可能的反应产品）可要求钢瓶在再次充装前进行离线内部清理和检查。在次充装高活性气体（如氟）前，钢瓶、阀门和设备必须钝化。钝化的目的是降低气体和气体接触的材料之间发生剧烈反应的危险性。通常慢慢将气体引入系统（在稀释状态和低压），以确保可以控制任何可能发生的情况。
在分析微量含硫、含氯、氨气、等标准气体时，经常出现分析数据忽高忽低，甚至分析不出来的现象，这主要是因为这些气体的吸附性极强，对取样管线，阀门、和管线中的水含量都有极高的要求，阀门和管线的要求前面已经提到，除此之外，对载气中的水含量要求也很高，载气中水含量过高也会让上述气体与之反应而吸附下来不能进入检测器，所以一定要选择水含量低的载气。同样如果湿度表较大时，进样系统长期暴露在空气中也会出现同样的问题，这就要求进样前好用干燥氮气将管线将水吹扫干净。为了解决色谱柱的吸附问题，好几个样品将色谱柱进行预饱和。
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