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通常，高纯气体系指气体中含较少杂质气氛(纯度)，微量水份(干燥度)污染物粒子的娄量保持在低限度，其粒度也应
高纯氧气厂
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高纯氧气厂相关介绍
目前微量氧的分析一般采用氧分仪和气相色谱分析，不论采用哪种分析方法，微量氧的分析采样是一个关键技术，因为空气中含有大量的氧气，如果取样过程出现任何小的纰漏都会造成数据的严重失真。取样阀一定要采用直通不带压力表的针形微调阀，这种阀体积小，置换起来比较方便，管线也一定要采用不锈钢硬链接的管线，任何软管都不能采用。气相色谱分析微量氧的方法主要有TCD、ECD、DID以及氧化锆和质谱等方法，
在分析微量含硫、含氯、氨气、等标准气体时，经常出现分析数据忽高忽低，甚至分析不出来的现象，这主要是因为这些气体的吸附性极强，对取样管线，阀门、和管线中的水含量都有极高的要求，阀门和管线的要求前面已经提到，除此之外，对载气中的水含量要求也很高，载气中水含量过高也会让上述气体与之反应而吸附下来不能进入检测器，所以一定要选择水含量低的载气。同样如果湿度表较大时，进样系统长期暴露在空气中也会出现同样的问题，这就要求进样前好用干燥氮气将管线将水吹扫干净。为了解决色谱柱的吸附问题，好几个样品将色谱柱进行预饱和。
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