早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：
（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；
（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；
（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；
（4）技术、经济指标落后。
20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。
PSA变压吸附制氧系统
早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：
（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；
（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；
（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；
（4）技术、经济指标落后。
20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。
四十多年来变压吸附空分制氧技术的研究进展主要表现在两个方面:一是空分制氧吸附剂和其吸附理论的研究方面，二是空分制氧工艺循环过程的研究方面(Sircar,1994;Ruthven.Farooq&Knaebel, 1994)。国内对这项技术的研究尽管起步较早，然而在较长的一段时间内发展相对较缓。直至进入九十年代以来，变压吸附制氧设备的优越性才逐渐被国人认可，近几年各种流程的设备相继投产为各行各业带来了巨大的经济效益。PSA变压吸附制氧系统制氧机，生产氮气（或液氮）和、-氦、-氙等混合气体的一种成套设备。
对于实际的分离过程，还必须考虑空气中其他微量组分。二氧化碳和水在通常的吸附剂上的吸附能力一般比氮和氧都大得多，可在吸附床内填加合适的吸附剂(或利用制氧吸附剂本身)使其被吸附清除。
制氧装置所需要的吸附塔数目取决于制氧规模、吸附剂性能和工艺设计思路，操作时运行平稳性相对更好一些，但设备投资较高。目前的趋势是：使用制氧吸附剂尽量减少吸附塔数量并采用短操作周期，以提高装置的效率并尽可能节约投资。
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