洁净室的控制养护
严格控制洁净室与相邻房间之间的压差同样是保证生产房间空气洁净度的重要环节。不同洁净级别的洁净室及洁净区与非洁净区之间的压差应大于5帕斯卡，洁净区与室外压差应大于10帕斯卡，且送风、回风和排风系流的启闭应联锁并按顺序操作,这样可以避免空气倒流，减少低级别尘埃对洁净室环境的污染。每次生产前及一定的生产周期后须对清洁后的洁净室在静态条件下进行尘埃粒子数
组装式洁净室
洁净室的控制养护
严格控制洁净室与相邻房间之间的压差同样是保证生产房间空气洁净度的重要环节。不同洁净级别的洁净室及洁净区与非洁净区之间的压差应大于5帕斯卡，洁净区与室外压差应大于10帕斯卡，且送风、回风和排风系流的启闭应联锁并按顺序操作,这样可以避免空气倒流，减少低级别尘埃对洁净室环境的污染。每次生产前及一定的生产周期后须对清洁后的洁净室在静态条件下进行尘埃粒子数的检测，以评价和掌握洁净室尘埃粒子的含量。
电子洁净室污染因素：
一、电磁噪声
通过大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。
二、振动
设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上，影响它们的工作精度。
应在振源和怕受振动的设备下安装空气的弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。
三、生锈
酸用通风罩局部排风量不足时，酸雾气扩散于室内，腐蚀室内设备的金属部分，就是不锈钢露在含CI气的空气中，也会受腐蚀生锈。
处理酸的有效的方法是采用密闭通风罩，保证足够的局部排风量。
洁净车间必须在生产车间中间施压差，生产车间务必超过5Pa，残压力阀净化车间能够积极调整房间内负压，将其操纵在一定范畴内，当房间内为正压力情况时，剩下的气体将被排出来，维持內外平稳的正负极压力差，当房间内负压力情况被积极关掉时，将避免 不干净的的外界空气回生产车间，残压力阀对负压的忽然转变具备较强的适用范围。
在具体的要求调节中，先调节赔偿气压表，次之将送风空调阀的开启度调节到工作压力指示仪测量的负压低限，随后调节电流值方位并开启剩下工作压力，闸阀用以调节残压力阀的净重方位后，为了更好地防止锤头的净重偏移，务必扭紧固定不动螺丝不可以松脱，选择差压积极调整设备的剩下压阀，在气体压力调整设备资金投入运作以前，必须开展校准和调整，在给出的负压尺标下，残压力阀是合理靠谱的，在风淋室设备前，查验根处外表层是不是整平，平面度是不是达到空调规定。
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