洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
洁净车间地面装饰资料的焚烧功能应契合现行标准《修建内部装饰规划防火规范》GB50354的规则:甲、乙类洁净车间其洁净出产区应运用A型级别资料,同时应满足防火、防静电的特殊要求。丙、丁类洁净车间应运用不B2级的资料。技能竖井的壁面必须是非焚烧体,其耐火极限不行少于1小时。井壁上检查门的耐火极限不行少于0.6小时;竖井内涵各层或相隔一层楼板处,应运用等同于楼板耐火极限的非焚烧体做水平防火分隔,穿过水平防火分隔的电缆电线其周围缝隙,应运用非焚烧资料堵塞填充。
无尘车间一般都是运用PVC地板,运用PVC地板的以下优点:
无尘车间PVC地板维护简略,清洁方便,有着很好的阻燃性,不会引发火灾,在必定程度上很好的保护物资和工人安全。
无尘车间PVC地板有着优异的和耐腐蚀性且性能安稳。车间一般重型机器较多,人员走动量大,还会遇到工业污渍等,所以PVC地板是较适宜的地面材料。
无尘车间PVC地板有着较好的防滑性能,而且遇水越涩,不会由于地面有水而滑倒,也必定程度保护工人,防止呈现跌伤状况。
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