真空设备制造过程中的检漏
在设备的加工阶段，有必要跟随加工工艺（尤其是焊接工艺）及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件，焊缝质量要严格检漏，不合格的及时重焊、补焊并重新检漏，符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工，中间过程的检漏十分关键，必要时应该设计、制造专门的检漏工具（如探漏盒、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，好首先
真空氦检漏系统
真空设备制造过程中的检漏
在设备的加工阶段，有必要跟随加工工艺（尤其是焊接工艺）及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件，焊缝质量要严格检漏，不合格的及时重焊、补焊并重新检漏，符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工，中间过程的检漏十分关键，必要时应该设计、制造专门的检漏工具（如探漏盒、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，好首先组焊完内层室壁并检漏，确认没有漏孔后再组焊外层室壁。同样道理，对于室壁外侧有保温层等不易拆卸结构的情况，必须首先对室壁做严格检漏，然后才能包覆外层结构。
在条件允许情况下，所有真空法兰与其接管（包括真空室体法兰与室体壁）均应采用焊后加工法兰表面的工艺。不经焊后加工的法兰，即便在安装调试阶段可能满足了密封要求，但在设备使用过程中，受热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放，从而导致法兰变形和密封性能下降。
加工制造过程中，严格执行真空作业卫生和作业规范，对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后，需经去油清洗并及时保护将有利于提高焊缝的气密性。已经加工完成的零部件动、静密封面，应该具有保护措施，严防在存放、搬运、装配过程中发生磕碰、划伤。使用焊接波纹管、金属与陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易损件时，更应精心作业，尤其避免已经通过预检漏后被损坏而产生漏孔。
真空箱氦检漏系统
性能特点：
高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s,R22:0.1克/年。
干式检漏,检漏后试件无需进行干燥。
全自动压力监测,系统自动补充高纯氦气。
氨气回收率高达98%以上
。 多独立工位和管路设计, (两箱/三箱)交替工作。
微电脑控制,全自动检测,避免产生误检和漏检。
人机交互界面,实时监测及诊断。
自动判断,声光提示。
输出设备,全数字显示检测结果。
,系统采用配置 确保,自动故障检测。
可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。
高密封性能
专门设计工装夹具,满足氦检漏工艺的密封要求。
检漏
1.真空计测漏
一般的真空计测漏是用酒精作为检漏液。测漏时在有漏的地方喷洒酒精，若酒精喷洒在漏气处时，真空计会显示压力下降然后再上升的现象。这是因为酒精进入漏气处暂时有堵漏的作用，故真空系统压力下降。当酒精穿过漏气处到达真空系统内部会立即变成蒸气，故真空系统中的压力再上升。
2.检漏仪测漏
将检漏仪接入设备的抽气管路。设备先由泵抽气到检漏仪工作压强，然后切换到检漏仪。然后向怀疑有漏的地方喷吹氦气，若有漏气，则检漏仪的显示会有明显变化。真空检漏技术
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，真空检漏技术
工作原理：
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器，如图3所示。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
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