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不该在关闭空间内用惰性气体(如氮气、等)进行实验率剖析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。在也许形成回流的运用场合,运用设备上有必要配备避免倒灌的设备,如单向阀、止回阀、阻火器等。一切运用瓶的用户有必要在减压器出口部位接装单向阀和阻火器以避免回流及回火,一起在氧气瓶减压器出口部位接装单向阀以避免气回流。
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标准气体取样主义事项取样管线的选择由于胶管使用起来很方便,很多传统的进样管线都采用此类,但是众所周知,胶管对大部分有机气体,和含硫类的气体吸附性非常强,而且它的渗透性也很强,所以使用各类胶管来采样是不可取的,对分析数据造成很大偏差。建议根据不同的气体性质采用铜管、不锈钢管、四氟管而对于含硫的标准气和样品气好采用内涂石英的不锈钢管。
对于控制粒子污染的重要性,在集成电路生产、实验部门已经有所认识,同时,实践已向人们表明,气体的粒子可造成微日子产品的短路或断路,改变半导体材料的电性能,也可以破坏其晶格结构,影响印刷板的等等。这些破坏性因素中的任何一个,无可导致集成电路失效的严重后果。通常,粒子的粒径小到1微米的十分之几,便可造成断路,而更小的凿子,便函可使线路工作降级。
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通常用抽真空或吹扫来除去气体(某些情况下,在加热钢瓶时使用这种操作效果佳)。固体和液体物质(如可能的反应产品)可要求钢瓶在再次充装前进行离线内部清理和检查。在次充装高活性气体(如氟)前,钢瓶、阀门和设备必须钝化。钝化的目的是降低气体和气体接触的材料之间发生剧烈反应的危险性。通常慢慢将气体引入系统(在稀释状态和低压),以确保可以控制任何可能发生的情况。
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