化学气相沉积的特点有哪些?
高温石英管反应器设计
温度范围:室温到1100度
多路气体准确控制
标准气压计
易于操作
可配机械泵实现低压TCVD
可用于制备金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜
液体前驱体喷头
沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年化学气相沉积行业经验,专注化学气
化学气相沉积设备价格
化学气相沉积的特点有哪些?
高温石英管反应器设计
温度范围:室温到1100度
多路气体准确控制
标准气压计
易于操作
可配机械泵实现低压TCVD
可用于制备金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜
液体前驱体喷头
沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年化学气相沉积行业经验,专注化学气相沉积研发定制与生产,的化学气相沉积生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话!!!
PCVD与传统CVD技术的区别
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产化学气相沉积,欢迎新老客户莅临。
PCVD与传统CVD技术的区别在于等离子体含有大量的高能量电子,这些电子可以提供化学气相沉积过程中所需要的激发能,从而改变了反应体系的能量供给方式。由于等离子体中的电子温度高达10000K,电子与气相分子的碰撞可以促进反应气体分子的化学键断裂和重新组合,生成活性更高的化学基团,同时整个反应体系却保持较低的温度。这一特点使得原来需要在高温下进行的CVD过程得以在低温下进行。用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点,电压表显示这两点间的电压为正值,说明导电类型为P型,刻蚀合格。
ICP刻蚀机的应用
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售ICP刻蚀机,我们公司坚持用户为上帝,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,以产品求发展,以质量求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
等离子体处理可应用于所有的基材,甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗,等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低,因此,低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子刻蚀机的典型应用包括:
等离子体清除浮渣
光阻材料剥离
表面处理
各向异性和各向同性失效分析应用等离子刻蚀反应材料改性
包装清洗
钝化层蚀刻
聚亚酰胺蚀刻
增强粘接力
生物医学应用
聚合反应
混合物清洗
预结合清洗
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