卧式磁控溅射镀膜机
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产磁控溅射产品,欢迎新老客户莅临。
主要用途:
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。
系统组成:
主要由真空室系统溅射室、靶及电
真空磁控溅射镀膜设备公司
卧式磁控溅射镀膜机
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产磁控溅射产品,欢迎新老客户莅临。
主要用途:
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。
系统组成:
主要由真空室系统溅射室、靶及电源系统、样品台系统、真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、电控系统、计算机控制系统及辅助系统等组成。
双室磁控溅射系统
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设备简介
主要特点是设备体积小,结构简单紧凑易于操作,对实验室供电要求低;不管平衡还是非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定了一般靶材利用率小于30%。该系列设备主要部件采用进口或者国内优的配置,从而提高设备的稳定性;另外自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。 目前该系列有基本型、旗舰型、豪华型、尊享型4种不同配置可供选择,可以根据客户的不同需求进行配置,比较灵活;标配4只Φ2英寸永磁靶,4台500W直流溅射电源,主要用来开发纳米级单层及多层的金属导电膜、半导体膜以及绝缘膜等。
溅射镀膜的特点
溅射就是从靶表面撞击出原子物质的过程。溅射产生的原子或分子沉积到基体(零件)表面的过程就是溅射镀膜。
溅射镀膜与真空镀膜相比,有如下特点:
1.任何物质都可以溅射, 尤其是高熔点金属、低蒸气压元素和化合物;
2.溅射薄膜与衬底的附着性好;
3.溅射镀膜的密度高,孔少,膜层纯度高;
4.膜层厚度可控性和重复性好。
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多磁控溅射产品的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
小型磁控溅射镀膜系统简介
小型磁控溅射镀膜系统适合于溅射镀膜科研、教学与小批量打样,可、低成本的制备多种微纳米厚度的膜层。
具有一体化、占用空间小、灵活的特点,无需380V工业电,无需额外冷水机,采用无油干泵分子泵组,无需操心真空系统和操作间环境泵油污染。
保证设备具有优异的质量与稳定可靠性。触摸屏控制界面,带来简单、操作方便的体验。
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