常用的水冷式螺杆式冷水机组洁净室的冷热源机组：
杆式冷水机组
螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、热力膨胀阀、油分离器、自控元件和仪表等组成的一个完整的制冷系统。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围为580～1163kW。
离心式冷水机组
离心式冷水机组是由离心式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、节流机
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常用的水冷式螺杆式冷水机组
洁净室的冷热源机组：
杆式冷水机组
螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、热力膨胀阀、油分离器、自控元件和仪表等组成的一个完整的制冷系统。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围为580～1163kW。
离心式冷水机组
离心式冷水机组是由离心式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、节流机构和调节机构以及各种控制元件组成的整体机组。离心式冷水机组的制冷量较大，常用的水冷式离心式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，单机容量通常在1163kW以上，所以，离心式冷水机组一般用于大型空调系统。
在洁净工程技术水平上，80年代末期，国外已大量建成0.1微米级的超净室，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0.1微米尘埃的千级厂房，换气次数高达300次/分。美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。
洁净工作台
洁净工作台分为垂直流工作台和水平流工作台两种，洁净工作台是改善工艺条件、确保洁净洁度的净化设备之一，广泛应用于局部要求洁净度较高生产的区域，如：实验室、生物制药、医院、LED光电、线路板、微电子、硬盘制造、食品加工等领域。
洁净工作台特点：
1、洁净工作台采用超薄型无隔板过滤器, 过滤效率静态百级。
2、工作台配离心风机，具有长寿命、低噪声、免维护、震动小。
3、超净工作台采用可调送风系统,旋钮型无级调节风速与LED控制开关可选配4、净化工作台配大风量粗效过滤器, 方便拆卸、更好地保护过滤器,确保洁净度。
5、静态百级工作台可根据工艺要求，可单台使用，也可将多台组成100级超净生产线。
6、洁净工作台可选配装压差表，明确指示过滤器两侧的压差，以便提醒更换过滤器。
7、超净工作台有多种规格，可根据生产需求非标订做。
洁净室中的温湿度控制
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
洁净室中的气压规定
对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：
1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
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