高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS
实验室气体管道安装
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。（6）瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好，无漏气、滑丝、表针松动等危险情况，各类气压表一般不得混用。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
特种气体管道流程
其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收
1.预制间的选择
特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于大宗特气项目，一般都建有一个标准的预制间。
但我们在实际的施工中,大宗特气项目很少,一般都是简单系统和常规系统,为了节约成本和资金,在要求不是很高的情况下、一般采用在施工现场找一块相对洁净的房间采取一定的防尘措施就地施工,除作业人员和检察人员外,应禁止无关人员出入。如果业主要求比较严格，也采用彩钢板搭设一个简单的预制件，房间内铺上地板革，在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩，做一个简单的净化空间，进行管道的预制工作。实验室供气系统主要包括集中供气系统和气瓶分散供气系统两种模式。
2.主要的施工机具
特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机(GF锯)、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮i刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、其他辅助工具。（8）气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备，与明火距离不少于10m，氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时，不能放在一起。
气路系统百科知识
一、气瓶间。
1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。
2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;
3、可燃气体钢瓶(H2，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;
4、还应设立泄露报警系统。
二、色谱室。
1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则;
2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;
3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;
4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;
5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间
