真空检漏的具体方法
为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。
这种情况通常存在大于等于9.9×10-4 Pa·m3/s的较大漏点，检漏步骤为：
①用内径0.5mm左右的针头从机械泵到
真空氦检漏系统
真空检漏的具体方法
为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。
这种情况通常存在大于等于9.9×10-4 Pa·m3/s的较大漏点，检漏步骤为：
①用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体的喷吹一遍，会很快发现漏点，这时发现的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，一旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。
②第二遍检漏，进行第二遍检漏时速度要较遍慢些，重点检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。
综上三种问题，通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开一缝隙，充入氦气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升，那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。
真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏
大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化，特别是用于生产的真空设备，几乎不可避免地会发生真空度下降等问题，造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。
定期的泄漏检测很重要
大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者极限压力明显高于正常值。然而，有些时候，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常严重的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。
真空箱氦检漏系统
性能特点：
高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s,R22:0.1克/年。
干式检漏,检漏后试件无需进行干燥。
全自动压力监测,系统自动补充高纯氦气。
氨气回收率高达98%以上
。 多独立工位和管路设计, (两箱/三箱)交替工作。
微电脑控制,全自动检测,避免产生误检和漏检。
人机交互界面,实时监测及诊断。
自动判断,声光提示。
输出设备,全数字显示检测结果。
,系统采用配置 确保,自动故障检测。
可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。
高密封性能
专门设计工装夹具,满足氦检漏工艺的密封要求。
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