氦质谱检漏真空系统电气部分
除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：
1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。
2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。
5）灯丝保护
锂电池氦检漏设备
氦质谱检漏真空系统电气部分
除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：
1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。
2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。
5）灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。
6）其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差加，这在各自的说明书中都有说明，这里不同赘述。
怎么样影响氦质谱检漏仪检测精度
温度对检测的影响
对于处于密闭容器的气体而言，当温度升高时，其内部的压力也随之升高。因而温度的变化不可避免地成为影响压力变化的重要因素。一般估计这种影响的范围大致在温度每变化1℃引起的压力变化为0.36%的测量压力值。因而，随测试压力的提高，温度的影响会变得明显。
受到检测容积的影响
在一个特定的泄漏率值里，如果检测容积增大的话，那么相应的压力降低的速度就越低，因而测量时间需要相应增加。在一些特定的条件下，如果不想方设法减少测量容积，那么可能会无法达到测量需要的度和灵敏度。
氦质谱检漏仪故障与处理
检漏仪内部泄漏
处理方法
不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法(见表1)。①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏，可先采用灌胶密封处理，若密封性仍不能满足要求，需从厂家购买新品进行更换。②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏，则对密封圈进行更换，并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气，会影响仪器本底)等密封添加剂。③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封，若有漏，更换密封圈即可。注意事项同上。④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封，该密封环节在检测时极易被忽视，此处若有漏可行灌胶处理，但探针间距很小，可操作空间有限，若灌胶后密封效果不佳，则从厂家购买新品进行更换。
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