热发射电子需要电磁透镜才能形成光束电磁透镜热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。
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热发射电子需要电磁透镜才能形成光束
电磁透镜
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:
会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。
物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。

透射电镜TEM和扫描电镜SEM的结构差异
透射电镜TEM和扫描电镜SEM的结构差异:
主要体现在样品在电子束光路中的位置不同。透射电镜的样品在电子束中间,电子源在样品上方发射电子,经过聚光镜,然后穿透样品后,有后续的电磁透镜继续放大电子光束,然后投影在荧光屏幕上;扫描电镜的样品在电子束末端,电子源在样品上方发射的电子束,经过几级电磁透镜缩小,到达样品。当然后续的信号探测处理系统的结构也会不同,但从基本物理原理上讲没什么实质性差别。
相同之处:都是电真空设备,使用绝大部分部件原理相同,例如电子,磁透镜,各种控制原理,消象散,合轴等等。

透射电镜TEM和扫描电镜SEM的基本工作原理
透射电镜TEM和扫描电镜SEM的基本工作原理:
透射电镜TEM:电子束在穿过样品时,会和样品中的原子发生散射,样品上某一点同时穿过的电子方向是不同,这样品上的这一点在物镜1-2倍焦距之间,这些电子通过过物镜放大后重新汇聚,形成该点一个放大的实像,这个和凸透镜成像原理相同。这里边有个反差形成机制理论比较深就不讲,但可以这么想象,如果样品内部是均匀的物质,没有晶界,没有原子晶格结构,那么放大的图像也不会有任何反差,事实上这种物质不存在,所以才会有这种牛逼仪器存在的理由。经过物镜放大的像进一步经过几级中间磁透镜的放大(具体需要几级基本上是由电子束亮度决定的,如果亮度大,由阿贝瑞利的光学仪器分辨率公式决定),然后投影在荧光屏上成像。由于透射电镜物镜焦距很短,也因此具有很小的像差系数,所以透射电镜TEM具有非常高的空间分辨率,0.1-0.2nm,但景深比较小,对样品表面形貌不敏感,主要观察样品内部结构。

扫描电镜(SEM)测试常见问题
1、做透射电镜TEM测试时样品的厚度Z厚是多少
透射电镜TEM的样品厚度Z好小于100nm,太厚了电子束不易透过,分析效果不好。
2、请问样品的的穿晶断裂和沿晶断裂在扫描电镜SEM图片上有各有什么明显的特征?
在扫描电镜SEM图片中,沿晶断裂可以清楚地看到裂纹是沿着晶界展开,且晶粒晶界明显;穿晶断裂则是裂纹在晶粒中展开,晶粒晶界都较模糊。
3、做透射电镜TEM测试时样品有什么要求?
很简单,只要不含水分就行。如果样品为溶液,则样品需要滴在一定的基板上(如玻璃),然后干燥,再喷碳就可以了。如果样品本身导电就无需喷碳。

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