氦质谱检漏仪是如何工作的？
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束
正压氦所质谱检漏仪公司
氦质谱检漏仪是如何工作的？
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1，M3）则以不同的偏转半径而被分开。
氦质谱检漏仪示踪气体选择
对示踪气体的要求：氦质谱检漏仪都用氦气(He)作为示踪气体，也有用氢气(H2)作为示踪气体的质谱检漏仪器。
氢和氦都是比较理想的示踪气体：空气中的含量少，质量轻，运动速度快，同等条件下，直线运动距离长。实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。但氢气在使用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气。质谱检漏仪器示踪气体一般具有以下特点：
1、无害，不能对人体或环境造成伤害。
2、质量轻，惰性气体，能穿透微小细缝。
3、化学性质稳定，不会起化学反应。
4、Z好是只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。
氦质谱检漏仪的注意事项
氦质谱检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，氦质谱检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。
检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷氦后30s内氦质谱检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。
清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者测算，在测试到数量级为10-9P a m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8P a m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7Pam3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。
（作者： 来源：）
