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由于半导体技术对操作室的清洁度要求极高，通常使用鼓风机技术中挥发的各种废气，因此半导体行业的废气排出具有排出量大、排出浓度小的特点。这些废气排放主要分为酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体4种。酸碱废气主要来自扩散、CVD、CMP、蚀刻等工序，这些工序用酸碱清洗液清洗晶片。目前，半导体制造技术中常用的清洗
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由于半导体技术对操作室的清洁度要求极高，通常使用鼓风机技术中挥发的各种废气，因此半导体行业的废气排出具有排出量大、排出浓度小的特点。这些废气排放主要分为酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体4种。酸碱废气主要来自扩散、CVD、CMP、蚀刻等工序，这些工序用酸碱清洗液清洗晶片。目前，半导体制造技术中常用的清洗溶剂是和硫酸混合剂。这些工序产生的废气包括硫酸 、盐酸、磷酸等挥发气，碱性气体为氨。
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包装技术产生的废气比较简单，主要是酸性气体、环氧树脂和粉尘。酸性废气主要产生于电镀等技术的烘烤废气产生于晶粒粘贴、密封后的烘烤过程的切片机在切片过程中产生含有微量砂尘的废气。显示器和光电子设备从污染的角度来看，显示器的代表性产品是TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)，光电子设备的代表性产品是LED光电子设备。电子终端产品的生产过程主要包括印刷电路板(通称板卡)、组装(板级组装)、整体组装和产品调整。
省环境监察局负责人介绍，省环境保护厅统一组织全省环境人员，进入广州、深圳、佛山、中山、东莞、江门、肇庆、清远、云浮等9个重点城市，开展9个月的大气和水污染防治监察。新数据显示，监督组检查的企业中，家具制造业共计416家，发现有环境问题的企业319家化学原料和化学制品制造业(包括涂料)共计189家，发现有环境问题的企业115家。这表明家具制造业和涂料制造业的环境管理状况不容乐观。
VOCs在线监控系统利用互联网技术、无线通信技术，对工业VOCs进行24小时在线监控、分析、统计和运输服务全过程管理，为环境保护局和企业提供真实的VOCs浓度状况。合理的模块化设计，根据业务需求融合数据，实现监视、闭环运行、监视、管理、运输一体化和SAAS模式。支持PC、手机、IPAD监视和第三方机构进行数据统计分析。VOCs预处理系统根据废气中粒子状物的类型选择不同的预处理方法:油性粒子状物净化:静电吸附+资源回收大分子、高沸点化合物:淋浴吸收+静电吸附焊烟等干性粉尘:粗过滤+静电吸附易聚合化合物:焦炭、大粒子活性炭过滤。静电吸附+自动清洗可确保系统净化效率的稳定性。
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