旋片式真空泵机组
旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备
旋片真空泵设备
旋片式真空泵机组
旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。真空镀膜所采用的办法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流堆积镀以及分子束外延等。
而立式无油往复泵机组以ZJ泵为主泵，以WLW型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。
水环真空机组，大概可以分为下面几种类型：
水环泵：机组中水环泵的作用主要是造成罗茨泵所需的预备真空，对于一般情况而言，单级水环泵极限真空度不高，而目前我国生产的罗茨泵要求的预真空又比较高，因此实际上我们一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而是采用了极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用，这样还可以降低机组的极限压力。按其作用原理可分为三类：（1）叶片式：叶片式泵有叶轮，叶轮上均布置有叶片。
一台泵与一台水环泵的极限压力是400Pa，这可以满足一般的真空需求，但它使用的范围会受到一定的限制，如果用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就可以大大提高机组的极限压力（可以达到25Pa）。因此在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵组成机组。如果需要更高的极限压力，可以使用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可以达到1Pa。有时，一台新的真空泵，对某些生产应用来说，仍觉其极限真空度不够高，维修工作者也可尽可能设法将其改进一些。
倘若三级水环机组还是不能满足极限压力的时候，我们可以采用水环泵并联机械真空泵。这个机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统，比如在真空干燥方面。
如果要求处理大量水蒸汽的真空系统中，使用水环泵是比较合适的，但是因为其极限真空度不高，而导致整个机组的极限真空度较低（这个只是相对而言）。虽然在要求真空度较高的抽真空系统中，需要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵使用。可以把气镇机械真空泵与水环泵并联，作为泵的前级泵。真空干燥时，先用水环泵进行预抽，直到它的水蒸汽大量减少时，再开动气镇机械真空泵，切断水环泵。应从新装置并疏浚和调理油路，增强光滑，(8)机电有毛病而发生噪声。如果需要较长时间才能完成干燥的场合，所需冷却水和功率都比较少。
真空泵加工件加工的几个方法
转子的改造举例 转子是旋片泵主要部件之一，过去国内主要常用两种结构形式:一种是两端盖和转子体用标准件结合而成的组合式;另一种是两端加垫用套静配合组成的。这两种工序均复杂，生产周期长，装配后再加工和使用时因螺钉松动而引起变形是常见的。把这种结构的转子改成稀土镁铝球墨铸铁等材料做的整体转子，代替由24件构成的组合转子。加工工序由34进可变为9道，劣工省时省料，图11(a)所示结构铸造加工易而清砂难，密封导向稍差，图11(b)结构却相反，不清砂也可以。 加工工艺简介:①以H槽为中心，划两端中心孔线;②钻两端中心孔;③按图进行车削;④以两端中心孔定位，利用分度头或卡具粗铣H槽(采用三而刃盘铣刀)，首先铣一边，后回转1800铣另一边(留精铣量0. 3^'0.5 mm);⑤用柱铣刀精铣11槽;⑥铣连接凸头;⑦铣键槽;⑧磨;⑨锉修全部毛刺。极限真空概念“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指微型真空泵能达到的真空度。 这样，加工工序要简单多了，维修容易。我们在配转子时，就可以仿此施行。
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