佛伦气体——番禺混合气咨询电话
相同压力与输入功率下，越靠近腔体中心氯分子浓度越低，氯离子浓度越高，因为越靠近腔体中心电子密度与电子温度越高，氯分子游离率越高。当蚀刻制程中偏压功率开启时，氯原子及氯离子浓度会瞬间下降，氯分子浓度会上升，且随著越靠近晶圆表面处氯原子与氯离子浓度越低，越往腔壁处浓度越高，因为氯原子会与晶圆表面的硅产生化学反应产生SiClx，氯离子会溅击以及离
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相同压力与输入功率下，越靠近腔体中心氯分子浓度越低，氯离子浓度越高，因为越靠近腔体中心电子密度与电子温度越高，氯分子游离率越高。当蚀刻制程中偏压功率开启时，氯原子及氯离子浓度会瞬间下降，氯分子浓度会上升，且随著越靠近晶圆表面处氯原子与氯离子浓度越低，越往腔壁处浓度越高，因为氯原子会与晶圆表面的硅产生化学反应产生SiClx，氯离子会溅击以及离子驱策蚀刻晶圆表面，导致氯原子及氯离子的消耗，使得浓度下降，当偏压关闭时，氯原子及氯离子浓度则会瞬间上升，氯分子浓度则会下降，另外由于氯离子Cl2+与Cl-会于靠近腔体表面处产生再结合的效应，所以蚀刻过后越靠近腔壁处氯分子与原子浓度会变的较高。 番禺混合气咨询电话
氩气在常温常压下为无色无臭无味无毒的惰性气体。在空气中约含1%，无腐蚀性，微溶于水和。氩本身无毒，但在一些特殊情况下就会产生危害。那么氩气存在什么安全隐患呢？出现这些安全隐患时，该如何应对呢？下面就一起来了解一下吧。
液氩对人体的危害
液氩会伤害人体皮肤，眼部接触会引起。
应对方法：若是皮肤接触，会造成，用水冲洗，就医；若是眼睛接触，翻开眼睑用生理盐水或流动清水冲洗，就医。番禺混合气咨询电话
1、氩气应储存在通风、干燥、阴凉的库房里，远离热源和火种，避免阳光直晒，而且氩气瓶要有防倒措施。 2、氩气瓶装气体为高压充装气体，使用时应经过减压后方可使用。 3、氩气有使用年限，好在使用年限内使用，快到期的氩气必须送到相关部门进行安全检验，合格后才能继续使用。 4、氩气使用到尾气时，应保持瓶内余压0.5MPa，余压小不能0.25MPa，而且应关闭瓶阀，保证气体质量和使用安全。 5、氩气在储存、运输、使用时应该分类摆放，不能把可燃气体与助燃气体放置在一起，而且还应配备泄露应急处理设备。 番禺混合气咨询电话
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