北京充气柜氦检漏设备维修给您好的建议「科创真空」

氦质谱检漏仪的基本原理与结构

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。科创真空拥有的技术，我们都以质量为本，信誉高，我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统1．配置与气路控制真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

氦质谱检漏仪常用检漏仪检漏方法详解

喷氦法

在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽，就可以提高检漏效率和时间，喷氦法在检查那些结构比较复杂的，密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时，由于氦喷出后会很快扩散开来，往往不容易准确地确定漏隙所在的部位，要采取从不同角度喷氦，仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法，就可以把漏孔逐个检出。机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。

氦质谱检漏仪

充氦法

充氦法也称负压法 ，一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐，将被检零件装入一个气室，开始关闭氦气罐阀门，机械泵把气室先抽成真空，然后关闭真空泵阀门，打开氦气罐阀门给气室充氦，并静置一段时间。氦气检漏设备的特点和优点说到氦气检漏设备的特点，首先，我们还需要注意核心部件分子泵，使用原装进口的检漏仪的分子泵。被氦气包围的小器件上如果有漏隙，氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开，取出被检器件，用压缩空气吹掉其外表面可能吸附的氦。再把这些器件逐个(或成组) 地装入接在检漏仪进气法兰处的容器中，把此容器抽空后打开节流阀，这时原入被检器件的氦又会经过漏孔放出来，检漏仪就会给出漏率响应。