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故障出现后，监控主画面上方会出现报警提示，根据提示内容可初步断定故障设备，报警详细如下：V101阀位报警、V105阀位报警、加热段煤气换向报警、加热段空气换向报警、保温段煤气换向报警、保温段空气换向报警。其间，V101阀即加热段煤气快切阀，V105阀即保温段煤气快切阀。每一设备由动作部分和阀位反应部分组成。动作部分由
罩式光亮退火炉
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故障出现后，监控主画面上方会出现报警提示，根据提示内容可初步断定故障设备，报警详细如下：V101阀位报警、V105阀位报警、加热段煤气换向报警、加热段空气换向报警、保温段煤气换向报警、保温段空气换向报警。其间，V101阀即加热段煤气快切阀，V105阀即保温段煤气快切阀。每一设备由动作部分和阀位反应部分组成。动作部分由电磁阀带气动元件产生动作。故障排查：出现上述报警后，首先查看报警设备在监控主画面上显现的色彩，承认其状态。
维护气压力。为了防止出现微漏，炉内维护气应坚持一定的正压，假如是氢气维护气，一般要求20kBar以上。炉内水汽。一方面查看炉体材料是否枯燥，初次装炉，炉体材料必须要烘干；二是进炉的不锈钢管是否残留过多水渍，特别管子上面假如有孔的话，千万别漏水进去了，要不然就把炉子气氛全破坏了。假如没有出现这几类问题的话开炉后应该退20米左右的不锈钢管就会开始发亮，是亮得反光的那种。
退火炉是一种用于制作半导体器材的工艺，它包括加热几个半导体晶片以影响其电功用。热处理是为不同的效能而规划的。硅片可以加热以激起掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶圆-基板界面，从而改动细密堆积的薄膜，恢复生长的薄膜，恢复注入的损处，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜转移到硅片。退火炉分为电加热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、退火炉和气体退火炉，其间自备煤气发生炉生产的气体退火炉使用较为广。
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