真空设备制造过程中的检漏
在设备的加工阶段，有必要跟随加工工艺（尤其是焊接工艺）及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件，焊缝质量要严格检漏，不合格的及时重焊、补焊并重新检漏，符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工，中间过程的检漏十分关键，必要时应该设计、制造专门的检漏工具（如探漏盒、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，好首先
氦质谱真空箱检漏系统
真空设备制造过程中的检漏
在设备的加工阶段，有必要跟随加工工艺（尤其是焊接工艺）及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件，焊缝质量要严格检漏，不合格的及时重焊、补焊并重新检漏，符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工，中间过程的检漏十分关键，必要时应该设计、制造专门的检漏工具（如探漏盒、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，好首先组焊完内层室壁并检漏，确认没有漏孔后再组焊外层室壁。同样道理，对于室壁外侧有保温层等不易拆卸结构的情况，必须首先对室壁做严格检漏，然后才能包覆外层结构。
在条件允许情况下，所有真空法兰与其接管（包括真空室体法兰与室体壁）均应采用焊后加工法兰表面的工艺。不经焊后加工的法兰，即便在安装调试阶段可能满足了密封要求，但在设备使用过程中，受热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放，从而导致法兰变形和密封性能下降。
加工制造过程中，严格执行真空作业卫生和作业规范，对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后，需经去油清洗并及时保护将有利于提高焊缝的气密性。已经加工完成的零部件动、静密封面，应该具有保护措施，严防在存放、搬运、装配过程中发生磕碰、划伤。使用焊接波纹管、金属与陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易损件时，更应精心作业，尤其避免已经通过预检漏后被损坏而产生漏孔。
自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践
根据目前氦检系统的种种不足，我们优化了氦检设备布局，改善工件流水线的物流走向，把真空箱改为隧道式结构。设备主要由真空箱检漏系统；充高压气体、抽空、充氦三合一装置；空调两器输送线；回收系统；电器控制系统等组成，具体构成如下：
真空箱检漏系统主要由检漏仪、真空箱体、真空泵组、真空测量装置、真空阀门、气动开门装置、安全光栅、不锈钢管道和机架等组成。
充高压气体、抽空、充氦三合一装置和回收系统主要由电磁阀、真空泵、储气罐、压缩机、压力和真空测量装置以及管道等组成，能对工件进行大漏检测试验，并进行充氦回收等处理。
空调两器输送线主要由铝型材、三倍速链条、驱动电机、升降机、辊筒、工装板等组成。
真空应用设备哪些部位容易出现泄漏，应该如何检漏？
喷吹法检漏
1. 喷吹法检漏的原理
喷吹法检漏是利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，然后在被检产品外表面喷吹氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，检漏仪会报警并显示当前漏率值。
2.喷吹法检漏的优缺点
优点：①检测灵敏度高
②定位准确
③对大容器或复杂结构产品的检漏可靠性高
真空检漏的具体方法
为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，如图2所示。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。
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