质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
（1）氦在空气中及真空系统残余气体中的含量少（在空气中约含5×10-6），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
（2）氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，
氦质谱检漏仪那种好
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
（1）氦在空气中及真空系统残余气体中的含量少（在空气中约含5×10-6），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
（2）氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
（3）氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
（4）在氦两侧的离子是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，调氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
（5）氦在被检件及真空系统中不易被吸附，容易被抽走。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。
氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。单级磁偏转换仪是一种灵敏度较高的仪器，广泛应用于检测各种真空系统和零件的漏电，具有很好的实用价值。双层串联磁偏变装置与单层磁偏变装置相比，背景噪声明显降低，其灵敏度可达到10-14~10-15Pam3/s，适用于超真空系统、元件和部件的检漏。逆电流式氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，将检件放置在检漏仪主抽泵的前级部位，因而具有在高压条件下能检漏，不会造成液氮污染和质谱室污染等特点.适用于对大漏率、真空环境卫生较差的真空系统的检漏，灵敏度可达10-12Pam3/s。
年泄漏率大的标准漏孔，要注意经常校准。如果发现异常，要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测，都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔，对温度特别敏感。温度每变化1℃，标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如，夏天，室温达到30℃，这种标准漏孔的漏率误差增加30%。
高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
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