一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且良好的洁净室。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数
千级净化车间
一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且良好的洁净室。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

厂房洁净室净化工程多属于生产高科技产品的生产厂房,此类厂房内的生产过程具有连续性不间断昼夜生产,且自动化程度较高,许多洁净厂房内的工作人员较少。在十万级空气净化处理中,也可采用亚空气过滤器,进而代替空气过滤器。高科技产品生产过程常会使用一些高分子材料,洁净室内装修也会使用一些高分子合成材料,这些材料在燃烧时产生浓烟,散发气。有的燃烧速度极快。

在建造无尘车间时,将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪 音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,为了避免外界污染侵入,需求坚持内部的压力高于外部的压力。风管要求经济与效率并重在无尘车间工程集中或净化空调系统中,对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉,方便施工,运行成本,内表面光滑阻力小。后者是指严密性好,不漏气,不发尘,不积尘,不污染,可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且良好的洁净室。

洁净外走廊和其他辅助用房采用彩钢板,彩钢板板厚度必须按执行。风管要求经济与效率并重在无尘车间工程集中或净化空调系统中,对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉,方便施工,运行成本,内表面光滑阻力小。后者是指严密性好,不漏气,不发尘,不积尘,不污染,可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。通过洁净车间技术在净化工程的应用中可以看出,洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均采用了初级效率、中级效率、效率的空气过滤器。

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