真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术
（1）真空箱体设计：首先、要保证箱体在抽真空过程中受力发生非弹性形变，造成箱体开裂。第二、要保证良好的气密性，真空箱一般是焊接成型，根据真空系统要求，焊缝无气孔、接痕， 表面光滑， 焊后焊缝表面磨光， 同箱体板一起抛光。这样处理的箱体内表面光洁， 表面藏气较少。第三、真空箱门开合自如，开合过程中不剐伤箱体密封圈，为提高箱体密封圈的使用寿命，设计时尽量考
真空氦质谱检漏仪
真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术
（1）真空箱体设计：首先、要保证箱体在抽真空过程中受力发生非弹性形变，造成箱体开裂。第二、要保证良好的气密性，真空箱一般是焊接成型，根据真空系统要求，焊缝无气孔、接痕， 表面光滑， 焊后焊缝表面磨光， 同箱体板一起抛光。这样处理的箱体内表面光洁， 表面藏气较少。第三、真空箱门开合自如，开合过程中不剐伤箱体密封圈，为提高箱体密封圈的使用寿命，设计时尽量考虑使密封圈在垂直箱体法兰面方向上受力，尽量避免斜向受力。
（2）真空管路设计：真空管路设计首先要考虑管道流导要与真空泵的抽速相匹配，避免大马拉小车现象。
（3）检漏系统设计：首先、系统应具备检测大漏、中漏、微漏功能，系统一但出现大漏应立即中止检漏并给出报警，防止出现大漏后，继续执行氦检工艺， 造成系统累积大量氦气而无法清除，也即是出现“氦”现象。其次、一但出现大漏，应有清氦措施，大程度的清除氦本底。
真空系统的密封性非常重要，各个部分要分别检漏又显得麻烦，那有没有一个方法可以进行检漏工作呢，任何一个地方的泄漏都能监测到，是有的。
真空系统经过长时间的运行，会发生老化，年久失修而造成泄漏问题，特别是运动的接口处更是因为摩擦而发生泄漏，因此泄漏问题会随着时间的推移而不可避免，真空泵油雾分离器发生泄漏只要使用性能更稳定的氟胶圈即可解决，那真空系统的一些微小泄漏其实是较难发现的，如果长期没有发现，泄漏情况就会加重，影响生产。
真空泵操作人员应该严格记录每次的点检情况，以当故障发生时发现问题并解决。发生泄漏的时候也能更快分析出泄漏的点。静态升压法是真空检漏的简单方法之一。该方法只需要通过一个工具—测量规管即可，就不用再额外使用其他的工具了。该工具使用方法也非常的简单，只需要将容器抽空达到所需的压力范围，并关掉泵的阀门，将真空泵与容器分离，就可以用该工具测量容器内压力随着时间的变化而变化的情况，就可以得出相关的泄漏数据。连同真空泵油雾分离器整个封闭系统一并检测。
利用该工具可以准确测出设备的总体密封情况，以保证真空能够满足生产条件。只要只用这个工具，就能检测整个系统是否发生泄漏是不是非常的简便，真空泵油雾分离器也不用再单独检漏了。但是简单的方式也会有一定的局限性，该方法只能进行检漏，却不能发现泄漏所在。
要找到泄漏到底发生在哪里，就需要辅助以其他检测方法。这种方法虽然是简单的但是不是也不是好的，特殊情况应该使用特殊的检测方案。建议大家平时多积累真空技术知识，临危不惧，保持清醒与冷静才是硬道理。
检漏
1.真空计测漏
一般的真空计测漏是用酒精作为检漏液。测漏时在有漏的地方喷洒酒精，若酒精喷洒在漏气处时，真空计会显示压力下降然后再上升的现象。这是因为酒精进入漏气处暂时有堵漏的作用，故真空系统压力下降。当酒精穿过漏气处到达真空系统内部会立即变成蒸气，故真空系统中的压力再上升。
2.检漏仪测漏
将检漏仪接入设备的抽气管路。设备先由泵抽气到检漏仪工作压强，然后切换到检漏仪。然后向怀疑有漏的地方喷吹氦气，若有漏气，则检漏仪的显示会有明显变化。真空检漏技术
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，真空检漏技术
工作原理：
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器，如图3所示。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
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