背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率
真空箱式氦检漏系统
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏
选择氦气作为示踪气体：用氦气作示踪气体的质谱检漏仪，是示踪气体检漏中灵敏度高，使用普遍的一种检漏仪器。
（1）He是一种标准元素，原子质量数为4，在质谱室内能与相邻物质很好的分离
（2）空气中He的本底浓度非常低-5ppm，使得本底噪声信号小.
（3）无毒,非可燃性气体。
（4）惰性气体，不易发生化学反应。
（5）氦气可以存储在各种尺寸的圆筒容器内，并且高纯度能够满足为苛刻的要求。
真空箱氦检漏系统
性能特点：
高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s,R22:0.1克/年。
干式检漏,检漏后试件无需进行干燥。
全自动压力监测,系统自动补充高纯氦气。
氨气回收率高达98%以上
。 多独立工位和管路设计, (两箱/三箱)交替工作。
微电脑控制,全自动检测,避免产生误检和漏检。
人机交互界面,实时监测及诊断。
自动判断,声光提示。
输出设备,全数字显示检测结果。
,系统采用配置 确保,自动故障检测。
可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。
高密封性能
专门设计工装夹具,满足氦检漏工艺的密封要求。
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