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真空压力法氦质谱检漏
采用真空压力法检漏时,需要将被检产品整体放入真空密封室内,真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连,被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后,再与氦气源相连,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入真空密封室,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率的测量。'本底”6、逐个将氦气
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真空压力法氦质谱检漏
采用真空压力法检漏时,需要将被检产品整体放入真空密封室内,真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连,被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后,再与氦气源相连,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入真空密封室,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率的测量。'本底”6、逐个将氦气充入焊缝,并封堵插入口,将数值变动记录下来。
真空压力法的优点是检测灵敏度高,能实现任何工作压力的漏率检测,反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂,需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏,或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测标准有GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》,主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品,如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
试漏压力与运行过程中受到的较大压力相同
许多密封件是在一定的压力阈值下出现泄漏。如果未在运行过程的压力下试漏,那么一些漏孔则不宜检测出来。因此,在测漏过程中采用较高的测试压力,可有效检测出在实际运行中未出现的漏孔。
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氦质谱仪的整体结构
质谱室
形象的说,质谱室是氦质谱检漏的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。
真空系统
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度,同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节,该阀全开时检漏灵敏度高,因此在条件允许情况下开启大些为宜。真空压力法的优点是检测灵敏度高,能实现任何工作压力的漏率检测,反映被检件的真实泄漏状态。检漏时为了校准检漏灵敏度,系统中设置了标准漏孔。
电气系统
氦质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
辅助真空系统的配置
在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。
标准漏孔
使用氦质谱仪的时候是否氦质谱仪能通过自检,那就认为这台氦质谱检漏仪是正常的呢?其实不然,氦质谱仪能通过自检,只是说明,氦质谱仪本身基本没有问题。但是,氦质谱仪是否准确?这