电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电子束产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！
设备组成：
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，
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电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电子束产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！
设备组成：
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。
电子束蒸镀系统的特点
* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
* pocket电子枪
* 电子束源和基片遮板
* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能
* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件
* 旋转样品台，提供高均匀性
* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片
* PC全自动控制，具有高度的可重复性
* Labview软件的计算机全自动工艺控制控
* 多级密码保护的授权访问设计
* EMO保护以及完全的安全联锁
以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。
双枪电子束镀膜机介绍
电子枪蒸发是到目前为止应用较多的一种蒸发方式，它可以蒸发任何一种镀膜材料，它的工作方式是：将镀膜材料放在坩埚里面，将蒸发源制作成灯丝形状，采用一专门的控制柜，对灯丝加一强电流，高电压，由于灯丝的材料是钨，所以它会发热，然后会发射电子，再采用一定的磁场将其聚集成一定形状，并牵引到坩埚上，这样就形成了一股电子束，由于电子束温度非常高，可以熔化任何镀膜药材，当镀膜药材被电子束熔化后（有些材料是直接升华），药材的分子（原子或者离子）在真空中成直线运动，然后遇到基板，就凝结下来，经过这种方式生长，形成薄膜！电子束蒸发镀膜机安装介绍安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。
常用的有将电子束的偏转角制作成270度，、或者运行轨迹为e型的e行电子枪或者电子束偏转角180度，运行轨迹为c型的c型电子枪两种。
期望大家在选购电子束时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。想要了解更多电子束的相关资讯，欢迎拨打图片上的热线电话！！！
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