自动控制系统:包括温度控制自动控制系统：包括温度控制，温度控制，风量风压控制，开启顺序和时间控制;电气系统：照明，电力和弱电，包括净化灯，插座，电气柜，线路，监控，电话等强弱系统;给排水系统：供水，排水管道，设施和控制装置;地面系统：环氧树脂通常用于清洁地面。
信封结构系统：简单来说，它是顶部，墙壁和地面，即构成三维受限空间的六个面。精美，包括门窗，装饰弧等;管道系统：包括供气，回
天津洁净车间工程施工
自动控制系统:包括温度控制
自动控制系统：包括温度控制，温度控制，风量风压控制，开启顺序和时间控制;电气系统：照明，电力和弱电，包括净化灯，插座，电气柜，线路，监控，电话等强弱系统;给排水系统：供水，排水管道，设施和控制装置;地面系统：环氧树脂通常用于清洁地面。
信封结构系统：简单来说，它是顶部，墙壁和地面，即构成三维受限空间的六个面。精美，包括门窗，装饰弧等;管道系统：包括供气，回风，新风，排风管，端部和控制装置;
静态控制工程学科在一定范围内的要求
空调系统：包括冷（热）水单元（包括水泵，冷却塔等）（或风冷管道水平仪等），管道，组合净化空调箱（包括混流段，初始效果段），加热部分，制冷部分，除湿部分，加压部分，中效部分，静压部分等）;
空气过滤系统：其他净化设备如初级过滤器：如臭氧，紫外线灯，风淋室（包括货物淋浴器），转移窗，超净工作台，互联锁等净化辅助设备。
清洁车间工程可分为空气净化和水净化。空气净化是在一定空间内去除空气中的微粒，有害空气，细菌和其他污染物，以及室内温度，清洁度，压力，气流速度和气流。
分布，噪声振动和照明，静态控制工程学科在一定范围内的要求。无论外部空气条件如何变化，净化项目专门设计的房间都能保持原始设置所需的清洁度，温度，湿度和压力。
洁净室中的温湿度控制
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
洁净室中的气压规定
对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：
1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
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