5送风系统
5.1 风管应为金属材料制作，咬口缝均应胶封。 【检查方法】外观检查。
【结果处理】不符合要求但尚未影响到某些参数，可先不更换。 5.2风管应有足够内径，控制风速在以下范围：
总管 7～9m/s
无风口支管或干管 5～7m/s 有风口支管或干管 3～5m/s 【检查方法】根据风量估算。
【结果处理】未影响到噪声，可不改动，否则应
净化工程施工
5送风系统
5.1 风管应为金属材料制作，咬口缝均应胶封。 【检查方法】外观检查。
【结果处理】不符合要求但尚未影响到某些参数，可先不更换。 5.2风管应有足够内径，控制风速在以下范围：
总管 7～9m/s
无风口支管或干管 5～7m/s 有风口支管或干管 3～5m/s 【检查方法】根据风量估算。
【结果处理】未影响到噪声，可不改动，否则应适当减小风速，但又要不影响换气次数。
5.3风管法兰之间均应有密封垫，密封垫材料宜为闭孔海绵橡胶，严禁采用橡胶、乳胶海绵、聚乙烯、厚纸板等含开孔孔隙和易产尘、易老化的材料。厚度不应小于5mm。密封垫上不得有涂料。
【检查方法】检查检漏报告和日常维护记录。
【结果处理】当无特殊要求时，未作现场扫描检漏的应补做，如无特殊要求，宜采用将纳入《洁净室施工及验收规范》的粒子计数器大气尘检漏法。由于产品生产对洁净室的环境温度和相对湿度没有特殊的要求，因此对洁净区的温湿度进行整体的控制，系统送风和回风均设置有温湿度显示仪，有效的控制送风温湿度，和监督控制回风温湿度，便于对车间洁净区温湿度进行整体的控制和调整。 【参考】 大气尘检漏法可用2.83L/min粒子计数器，对5级及其以下洁净室所用普通高1效过滤器，需要高1效过滤器上游浓度≥5000粒/L，采样口宜为15mm×20mm，20mm为平行于扫描方向的长边，采样口离检漏表面25mm，扫描速度≤2cm/s。
【参考】 扫描过程中当出现≥1粒计数时，即出现漏泄特征，应在该处停留1min，若再出现≥3粒的计数，即判断为漏，否则为不漏。
【参考】 ISO14644指出粒子计数器法比DOP光度计法检漏更灵敏。沉积在过滤器和管道上的DOP的挥发对产品可能造成无法接受的污染或分子污染；长时间测试会造成过滤器污染堵塞；对人也有危害。
无尘车间洁净室监测与维护
10.1
无尘车间洁净室（区）应有对洁净室（区）性能的动态监测和静态年检的计划，动
态监测由使用方质检部门执行，
应有布置方案、
测试记录和签名。
静态年检应由
第三方执行。
【检查方法】查看文件、记录。
10.2
无尘车间洁净室动态监测项目为：
静压差
沉降菌或浮游菌菌落数
应在一段时间内固定一定监测位置。
无尘室净化间监测与维护
无尘室（区）应有对洁净室（区）性能的动态监测和静态年检的计划，动
【检查方法】查看无尘室净化室文件、记录。
洁净室工程的动态监测项目为：
静压差
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